À mesure que la structure des appareils se complexifie, une mesure extrêmement précise des wafers et des puces composant l'appareil est nécessaire. La mesure précise des wafers et des puces est primordiale pour produire des semi-conducteurs de haute qualité.
Application : mesure de la hauteur des wafers et des puces
Mesurer la déformation des wafers peut s'avérer difficile. Les problèmes peuvent avoir des origines diverses, comme la contrainte de tension pendant le traitement ou les variations de température. À mesure que les wafers s'affinent, la déformation constatée pendant le traitement des wafers tend à s'accentuer. L'incapacité à mesurer précisément l'objet peut avoir des répercussions négatives sur les performances et le rendement des semi-conducteurs.
Notre solution : une technologie de détection de déplacement haute précision sans contact
Les technologies de mesure laser à capteur confocal D'OMRON sont adaptées aux problèmes de déformation des wafers. Elles permettent de mesurer les wafers sans contact avec une forte reproductibilité.
Le capteur de déplacement confocal à lumière blanche exclusif d'OMRON fournit des mesures plus précises des surfaces inclinées ou incurvées et brillantes que les capteurs de déplacement laser traditionnels.
Application : réglage de l'axe Z du scellage de puces
Mesurer la hauteur des puces peut s'avérer difficile. Avec l'avènement de composants tels que les circuits 3D-IC, les puces de différentes hauteurs et matériaux doivent être mesurées avec précision. L'incapacité à mesurer précisément l'objet a également des conséquences lourdes sur le réglage de la hauteur de l'axe Z pendant les opérations de la tête de scellage.
Notre solution : une technologie de détection de déplacement haute précision sans contact
Les technologies de mesure laser à capteur confocal D'OMRON sont adaptées aux tâches de réglage de la hauteur de l'axe Z. Elles permettent de mesurer les puces sans contact avec une forte reproductibilité.
Le capteur de déplacement confocal à lumière blanche exclusif d'OMRON fournit des mesures plus précises des surfaces inclinées ou incurvées et brillantes que les capteurs de déplacement laser traditionnels.
Technologies
Principe de capteur confocal à lumière blanche
OMRON est l'un des premiers du secteur à adopter le capteur confocal à lumière blanche lorsqu'il a commercialisé la série ZW. Ce principe permet une mesure en mouvement stable d'objets dans des conditions mixtes telles que les zones brutes, incurvées, inclinées ou étroites.
Produits connexes
Capteur de déplacement confocal sans contact à LED blanche
La rigueur du contrôle qualité, la vitesse de production et l'inspection de l'aspect sont en constante augmentation. Pour répondre à cette exigence, il est nécessaire de pouvoir réaliser des mesures stables pendant le mouvement pour l'inspection qualité sans compromettre la vitesse de fabrication. En exploitant les avantages du principe de la lumière blanche confocale, les séries ZW répond à cette nécessité pour la plupart des types de matériau (verre, métal, plastique, etc.) et de formes (ronde, plate, inégale, etc.).
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