Da Gerätestrukturen immer komplexer werden, ist eine hochgenaue Messung der Wafer und Chips erforderlich, aus denen das Gerät besteht. Die genaue Messung von Wafern und Chips ist entscheidend, um eine hochwertige Halbleiterproduktion zu gewährleisten.
Anwendung: Höhenmessung von Wafern und Chips
Die Wafer-Warp-Messung kann sich schwierig gestalten. Die Probleme können mehrere Ursachen haben, wie z. B. Dehnungsstress während der Bearbeitung oder Temperaturschwankungen. Je dünner die Wafer sind, umso mehr steigt im Allgemeinen der Verzug während der Wafer-Bearbeitung. Ist es nicht möglich, das Objekt präzise zu messen, kann sich dies negativ auf die Leistung und Ausbeute von Halbleitergeräten auswirken.
Unsere Lösung: berührungslose, hochpräzise Abstands-Sensortechnik
Die konfokalen Lasermesstechniken von OMRON sind für die Warp-Herausforderungen von Wafern geeignet. Sie bieten berührungslose Lösungen zum Messen des Wafers und erreichen eine hohe Wiederholbarkeit.
Der einzigartige konfokale Weißlicht-Abstandssensor von OMRON bietet Messungen von winkeligen oder gekrümmten und glänzenden Oberflächen mit einer höheren Auflösung als herkömmliche Laser-Abstandssensoren.
Anwendung: Z-Achsen-Anpassung beim Chip-Bonding
Die Messung der Höhe von Chips kann eine Herausforderung sein. Mit dem Aufkommen von Geräten wie 3D-ICs müssen Chips verschiedener Höhen und Materialien genau gemessen werden. Die Unfähigkeit, das Objekt genau zu messen, hat auch einen erheblichen Einfluss auf die Höhenverstellung der Z-Achse während der Bondkopf-Abläufe.
Unsere Lösung: berührungslose, hochpräzise Abstands-Sensortechnik
Die konfokalen Lasermesstechniken sind für schwierige Anpassungen der Z-Achsen-Höhe geeignet. Sie bieten berührungslose Methoden zum Messen von Chips und erzielen eine hohe Wiederholbarkeit.
Der einzigartige konfokale Weißlicht-Abstandssensor von OMRON bietet Messungen von winkeligen oder gekrümmten und glänzenden Oberflächen mit einer höheren Auflösung als herkömmliche Laser-Abstandssensoren.
Technologische Voraussetzungen
chromatisch konfokales Messprinzip
OMRON wendet in seiner ZW-Serie als eines der ersten Unternehmen der Branche das chromatisch konfokale Messprinzip an. Dieses Prinzip ermöglicht eine stabile bewegliche Messung von Objekten unter allen uneinheitlichen Bedingungen wie groben, gekrümmten, geneigten oder schmalen Bereichen.
Verwandte Produkte
Berührungsloser, konfokaler Weißlicht-LED-Abstandssensor
Die Anforderungen an strikte Qualitätskontrollen, Produktionsgeschwindigkeit und Aussehensprüfungen werden immer höher. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, sind stabile Messungen an bewegten Objekten erforderlich, damit Qualitätsprüfungen die Produktionsgeschwindigkeit nicht beeinträchtigen. Die Geräte der Serien ZW nutzen das Weißlicht-Konfokallichtleiter-Prinzip und erfüllen diese Anforderungen damit für nahezu alle Materialarten (Glass, Metall, Kunststoff usw.) und Formen [rund, flach, ungleichmäßig usw.).
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