Das Sicherheitsnetzwerk in den Halbleiter-Fertigungsanlagen ist wichtig für die Prozessoptimierung, einen höheren Ertrag und die Qualitätskontrolle. Unsere Sicherheitssteuerung, die wir über Jahre hinweg entwickelt haben, steigert den Ertrag und sorgt für eine gleichbleibend hohe Qualität des Prozesstools.
Anwendung: Sicherheitssteuerung durch offenes Netzwerkprotokoll
Mit der Weiterentwicklung der Geräte steigt der Bedarf an vernetzten Sicherheitssteuerungen gegenüber herkömmlichen festverdrahteten Sicherheitssteuerungen. Es ist jedoch sehr schwierig, die Geräte selbst zu steuern, wenn separate Netzwerke für die Sicherheitssteuerung und Standardsteuerungen innerhalb der Geräte verwendet werden.
Unsere Lösung: ein programmierbares Sicherheitssystem
OMRON bietet ein programmierbares Sicherheitssystem mit einem offenen Netzwerk. Durch die Verwendung von Safety over EtherCAT (FSoE) ermöglichen wir die Integration von Sicherheits- und Standardsteuerungssystemen. Dadurch können die Steuerungs- und Sicherheitssysteme zusammen statt getrennt verwaltet werden.
Die Umstellung auf die Gerätesteuerung über ein Netzwerk kann zur künftigen Skalierbarkeit der Geräte beitragen, z. B. eine Erhöhung der Anzahl der E/A-Punkte. Außerdem kann die Vereinheitlichung des Netzwerks mit EtherCAT auch die Datenverarbeitungskapazität der gesamten Anlage verbessern.
Technologische Voraussetzungen
Sicherheitsprotokoll für offene Netzwerke
Durch die Verwendung des Safety over EtherCAT - FSoE - Protokolls können wir die Sicherheitssteuerung über offene Netzwerktechnologie in die Maschinensteuerung integrieren. Sowohl der Sicherheitscontroller als auch der Sicherheits-E/A können in einer E/A-Konfiguration im gesamten Netzwerk frei verteilt werden, wobei sie in beliebiger Kombination mit Standard-NX-E/A gemischt werden können.
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Der modulare NX-Safety Stand-Alone-Sicherheitscontroller ist leistungsstark und leicht in Betrieb zu nehmen. Aufgrund seiner Skalierbarkeit kann er effizient an die Ansprüche einer Vielzahl von Sicherheitsanwendungen angepasst werden. Dank dieser modularen und erweiterbaren Hardware wächst der Sicherheitscontroller Stück für Stück mit seiner Aufgabe – bis auf das höchste Sicherheitsniveau. In einer einzigen Sicherheits-CPU können bis zu 256 E/A-Punkte verwaltet werden. Die Konstruktion von sicheren Systemlösungen wird somit erheblich vereinfacht.
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