À mesure que l'outil de traitement devient de plus en plus sophistiqué et complexe, des capteurs à fibre avec un système de détection stable et simples à installer deviennent nécessaires. Nous proposons une large gamme de produits avec des caractéristiques spécifiques adaptées à la détection de wafers dans la fabrication de semi-conducteurs.
Application : détection des wafers
Lorsque la pince d'un robot saisit les wafers, il est nécessaire de détecter la et la position des wafers définis dans le FOUP pour éviter que des mouvements inutiles entraînent une réduction de la vitesse. Un pas trop étroit ou la déflexion du wafer risquent également d'endommager le wafer lors de l'insertion de la pince du robot.
Notre solution : des fibres optiques dédiées à la détection de wafers
OMRON propose des capteurs spécialisés à tête mince qui sont faciles à monter sur les bras du robot pour les applications de fabrication de semi-conducteurs.
La solution d'OMRON facilite le transfert de wafers dans la fabrication de semi-conducteurs, en utilisant les caractéristiques de ce capteur pour détecter la quantité et la position des wafers dans le FOUP avec un capteur rétro-réfléchissant.
Technologies
Des capteurs spécialement conçus pour une détection fiable des wafers
Les capteurs à fibre pour la détection des wafers sont dotés d'un profil fin et sont faciles à monter sur les bras des robots. Le réglage de l'axe optique est également simple. Les capteurs à fibre pour wafers détectent de manière fiable les wafers, même empilés les uns sur les autres.
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