Da das Prozesstool immer ausgefeilter und komplizierter wird, sind Lichtleitersensoren mit stabiler Erkennung und einfacher Installation erforderlich. Wir bieten eine breite Palette von Produkten mit spezifischen Funktionen, die für die Wafererkennung in der Halbleiterherstellung geeignet sind.
Anwendung: Wafer-Mapping
Wenn Wafer mit einem Robotergreifer erfasst werden, muss die Anzahl und Position der Wafer im FOUP erkannt werden, um eine Minderung des Durchsatzes durch unnötige Bewegungen zu vermeiden. Darüber hinaus besteht die Gefahr, den Wafer bei der Einführung des Robotergreifers zu beschädigen, wenn die Waferneigung gering oder der Wafer verbogen ist.
Unsere Lösung: Lichtleiter speziell zur Wafererkennung
OMRON bietet Sensoren mit speziellen Merkmalen für Anwendungen in der Hableiterfertigung. Diese Sensoren zeichnen sich durch einen Kopf mit schlanker Bauweise aus und lassen sich einfach auf Roboterarmen anbringen.
OMRON bietet eine Lösung für den Wafer-Transfer in der Halbleiterfertigung, indem wir die Merkmale dieses Sensors verwenden, um die Anzahl und Position der Wafer im FOUP mit einer Reflexionslichtschranke zu erkennen.
Technologische Voraussetzungen
Sensoren, speziell zur zuverlässigen Erkennung von Wafern konzipiert
Lichtleitersensoren für das Wafer-Mapping verfügen über eine schmale Bauform und lassen sich einfach auf Roboterarmen anbringen. Auch die Anpassung der optischen Achse ist unkompliziert. Lichtleitersensoren für Wafer erkennen diese auf zuverlässige Weise, auch wenn die Wafer eng aufeinander gestapelt sind.
Verwandte Produkte
Lichtleiter-Sensorköpfe mit Präzisionserfassung
Höchste Präzision bei der Konstruktion und Fertigung der Lichtleiter und Vorsatzlinsen ermöglicht eine maximale Strahl- und Punktgenauigkeit, sodass auch kleinste Objekte und Höhenunterschiede von weniger als 100 μm erfasst werden können.
Digitaler Hochleistungs-Lichtleiterverstärker
Der Verstärker E3NX-FA ist die optimale Wahl für die anspruchsvollsten Lichtleiteranwendungen im Hinblick auf große Tastweite, Erfassung kleinster Objekte oder Verarbeitungsgeschwindigkeit.
Intelligente Lichtleiter-Verstärkerbaugruppen
Der 2-Kanal-Verstärker verringert den Platzbedarf um die Hälfte. Kleinere Geräte und Schaltschränke.
Intelligenter Lichtleiterverstärker
Die kostengünstigste Lösung für eine stabile Erkennung
Möchten Sie mehr erfahren?
Nehmen Sie Kontakt mit unseren Experten auf
Ihr Kontakt Wafer-Mapping
Vielen Dank für Ihre Anfrage. Wir setzen uns umgehend mit Ihnen in Verbindung.
Es liegen zur Zeit technische Probleme vor. Ihre Übertragung war nicht erfolgreich. Entschuldigen Sie dies bitte und versuchen es später noch einmal. Details
Download